所屬分類：快速退火爐
RTP-Table-6桌面型快速退火爐是在保護氣氛下的桌面快速退火系統，以紅外鹵素燈管加熱，精準控制升溫，保證良好的重現性與溫度均勻性，適用6寸快速退火制程。
RTP-Table-6為桌面式6英寸晶圓快速退火爐，使用上下兩層紅外鹵素燈管作為熱源加熱內部石英腔體保溫隔熱，腔體外殼為水冷鋁合金，使得制品加熱均勻，且表面溫度低。RTP-Table-6采用PID控制，系統能快速調節紅外鹵素燈管的輸出功率，控溫更加精準。
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